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传统纯水方法不能制出超纯水，化学意义上纯水(液态的H2O)的理论电导率为1813MΩ・cm。人们生产的纯水达不到理论值，但18MΩ・cm似乎可以达到，对于这种水，有的称为高纯水，有的称为超纯水，目前还没有系统的定义。也没有划分等级界限，笔者以为还是看电导率指标更准确一些。现在制备超纯水的方法是将各种纯化水的新技术科学地结合起来，使生产超纯水变得非常容易。目前市售的超纯水器就是一个成功的例子。
超纯水器制备超纯水的原理和步骤大体如下：
(1)原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。
(2)机械过滤：通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质，如铁锈和其他悬浮物等。
(3)活性炭过滤：活性炭是广谱吸附剂，可吸附气体成分，如水中的余氯等。吸附细菌和某些过渡金属等。氯气能损害反渗透膜，因此应除尽。
(4)反渗透膜过滤：可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。
(5)紫外线消解：借助于短波(180～254nm)紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，如甲醇、乙醇等，使其转变成CO2和水，以降低TOC的指标。
(6)离子交换单元：已知混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。借助于多级混床获得超纯水也并不困难。但水的TOC指标主要来自树脂床。因此，高质量的离子交换树脂就成为成败的关键。所谓高质量的树脂，就是化学稳定性特别好，不分解，不含低聚物、单体和添加剂等的树脂。“核工业级树脂”大概就属于这一类树脂。对树脂的要求是质量越高越好。可惜国内很少有人在这方面下工夫。满足于生产大路货。
(7)012μm滤膜过滤，以除去水中的颗粒物到每毫升1个(小于012μm的)，经过上述各步骤处理后生产出来的水就是超纯水了。应能满足各种仪器分析，高纯分析，痕量分析等的要求，接近或达到电子级水的要求。
